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链式光刻机让BC电池生产更高效半片产能27000片/h！

发布时间：

2025-05-13 00:00

链式光刻机让BC电池生产更高效半片产能27000片/h！

近年来，背接触（BC）电池组件凭借三大核心优势脱颖而出。

一是正面无栅线设计，使光电转换效率提升0.3%-0.5%，进而提升系统发电量；
二是全黑美学设计，完美适配建筑一体化需求，反射率低于3%的视觉特性成为BIPV项目的首.选方案；
三是轻量化结构与高效发电性能，高度匹配分布式场景，尤其在户用及小型工商业屋顶应用中，在有限的面积上制造更多清洁电力，得到了市场的广泛好评。

招投标方面，近期多个GW级光伏项目招标都为BC组件单独设立标段，采购量占比逐渐提升。随着技术迭代加速，BC组件温度系数低、PID效应小的特性进一步凸显，预计2025-2027年BC市场规模将快速增长，2027年全球BC组件市场规模将突破50GW，在高效分布式领域形成差异化竞争壁垒，开启光伏应用的"美学效率"新时代，对相关制造设备（特别是光刻设备）也提出了更高的要求。

光刻技术方案有哪些优势？

01
效率潜力高：

BC电池量产平均效率高于27.0%，仍然有1.5%以上的提效空间，光刻将会助力提效。

02
产能提升2-3倍，初始投资下降50%-70%：

整片产能15500片/h，半片产能27000片/h；p和n图形化双工序，设备投资1400万元/GW。

03
BC无需酸抛工序：

采用链式光刻工艺，去胶过程中可以去除正面绕镀，无需酸抛工艺。

04
图形精度高：

poly的宽度均匀性达到1%-2%，极差8 um。

光刻形成190 um宽度的poly-Si finger图形

05
无损开膜，适合复杂图形化且不损失产能：

相比于激光采用高温开膜，光刻是通过湿法开膜，并且不产生热损伤。光刻采用一次曝光网版，只需更换掩膜板，无需牺牲产能。

06
高双面率：

光刻属于低温工艺，可以进一步降低poly-Si厚度。

为什么要选用BC链式光刻机？

目前TBC电池图形化设备已在客户端试验，应用于182.2*105大尺寸矩形片电池工艺，包括链式PSG（n+-poly-Si）光刻机、链式BSG(p+-poly-Si)光刻机。2025年，推出新的3款产品，主要是应用于TOPCon正、背面的poly-Si finger（p+、n+）及HBC电池图形化。BC电池链式光刻机，长度范围18-22米，包括链式滚涂光刻胶、曝光对位系统、湿法系统三大部分。TOPCon poly finger链式光刻机，长度范围8-9米，包括链式滚涂光刻胶和曝光对位系统两大部分。设备已具备量产能力，7月份将会出货24轨大产能半片量产机。